在工業(yè)體系中，氦氣-惰性、高導(dǎo)熱性等物理特性，已成為深冷空分、半導(dǎo)體制造、精密焊接等關(guān)鍵領(lǐng)域的“剛需氣體”分析儀 。從深冷空分裝置中提取純化氦氣，到半導(dǎo)體芯片封裝時(shí)作為保護(hù)氣，氦氣的純度、濃度以及使用安全性，直接決定工業(yè)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。當(dāng)然，如果氦氣純度不達(dá)標(biāo)導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢，設(shè)備損耗，重則因?yàn)樾孤┗驖舛犬惓Ｒl(fā)安全事故。所以氦氣分析儀逐漸成為工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的“監(jiān)測衛(wèi)士”。
一、杭州集空機(jī)電設(shè)備有限公司-JKGA-600氦氣氣體分析儀
JKGA-600-He 熱導(dǎo)氣體分析儀采用進(jìn)口熱導(dǎo)傳感器，可測量0-100%氦氣、分辨率0.01%、便攜式充電不開泵可使用約20小時(shí)，實(shí)時(shí)監(jiān)測氦氣濃度，當(dāng)濃度升高時(shí)（如超過安全閥值導(dǎo)致氧氣含量低于19.5%），通過氣體分析儀的報(bào)警觸點(diǎn)觸發(fā)報(bào)警器，從而保障人員安全分析儀 。在化工業(yè)中氦氣作為保護(hù)氣，通過分析儀在線監(jiān)測保護(hù)氣濃度是否達(dá)標(biāo)，避免因保護(hù)氣不足導(dǎo)致易燃物料與空氣接觸引發(fā)燃爆。
杭州集空J(rèn)KGA -600氦氣分析儀
二、安捷倫-Agilent 8860 PDD
Agilent 8860 PDD采用氯離子化檢測器，利用氯氣被電離后產(chǎn)生的離子流差異檢測檢測限低至 10ppb，適配半導(dǎo)體高純氦氣雜質(zhì)分析分析儀 。該儀器適用于半導(dǎo)體高純氦氣質(zhì)檢。